گامی مهم به‌سوی خودکفایی در ساخت تراشه با نانو فناوری

برنا - گروه علمی و فناوری: پژوهشگران یک منبع نور EUV کوچک و ارزان توسعه داده‌اند که بدون نیاز به تجهیزات عظیم ASML امکان ساخت محدود تراشه‌های ۱۴ نانومتری و بازرسی دقیق ماسک‌ها و ساختار‌های تراشه را فراهم می‌کند.